臥軸矩臺平面磨牀的精度對加工工件精度有:

 臥軸矩臺平面磨牀磨頭主軸與工作臺面的相對方位過失對工件的平行度精度影響最大；牀身導軌的平行度過失，機牀的設備水平過失對工件的平面度精度影響最大；磨頭的主軸圓跳動過失對工件的表面粗糙度影響最大。
此外，機牀的振動、環境溫度等對加工工件精度都有較大的影響。